电子发烧友原创 章鹰
MEMS传感器是开启智能感知时代的关键，从智能手机、智能汽车、智能机器人到无人机，MEMS传感器的身影随处可见。根据市场调研机构Yole Development报告，2019年，全球高端惯性传感器系统市场价值32.4亿美元，2025年将达到38亿美元的市场规模。
目前，在高精度惯性传感器市场，Bosch、ST、TDK、霍尼韦尔等国际领先企业在MEMS惯性传感器领域具有长时间积累，产品性能及稳定性深受下游用户信赖。近日，在深圳举办的国际传感器大会上，苏州亿波达微系统技术有限公司研发总监张裕华表示，在高精度惯性传感器领域，国外企业占据90%的市场份额，高端产品及95%的芯片依赖进口。随着国家政策大力扶持，MEMS传感器迎来国产替代黄金发展期。
惯性传感器市场持续增长，MEMS传感器覆盖三大细分市场需求
行业专家表示，在人形机器人领域，惯性传感器主要负责机器人姿态调整，IMU相当于人形机器人的“小脑”，能实时感知机器人的姿态、角速度和加速度；在工业领域，惯性传感器可以精确测量物体的加速度、角速度和姿态等运动参数，在一些没有卫星信号覆盖的工业环境中，惯性传感器可以通过测量物体的运动信息，结合初识位置和姿态，实现自主导航和定位功能；在汽车领域，惯性传感器可以实时监测汽车的加速度变化，能监测车辆的侧倾、横摆角速度等运动状态。
2022年消费电子、汽车、工业是MEMS传感器行业的最大的三个细分市场，规模合计达到128亿美元。其中陀螺仪、磁力计和惯性传感器组合，市场规模合计约为37.83亿美元。2025年，全球MEMS传感器接近2000亿美元的市场规模，在中国MEMS市场的增长率达到10%以上。
根据Yole Development预测显示，未来MEMS传感器主要器件规模市场持续增长，应用多元化，发展迅猛。压力传感器会达到24.9亿美元，惯性传感组合将会达到25.56亿美元，光学MEMS将会达到13.04亿，加速度计传感器将达到17.54亿美元。
亿波达推出四大类MEMS传感器
亿波达是一家专注于MEMS传感器设计、制造、封测、以及多传感器融合系统集成的创新企业，2021年9月成立，产品可以广泛应用在汽车、无人机、物联网、人工智能等领域。公司专注高精度MEMS传感器，特别是高性能惯性传感器，用于工业级惯性传感器-陀螺仪，零偏不稳定性约等于10度，应用在工业设备、能源平台，能获取运动/角速度信息。亿波达还推出了高稳压力芯片、单轴加速度计，三轴加速度计、Z轴MEMS陀螺仪、流量计传感器等产品，均已经通过试产和验证，进入到工程批量产。
加速度计的关键性能指标决定了高精度、稳定性和适用场景，主要指标有零偏稳定性、带宽、噪声密度、响应时间等。亿波达EIA-X2002单轴加速度计，量程±2，非线性±0.3，带宽1200Hz，噪声5Hz，零偏稳定性80μg；EIA-X2010单轴加速度计，量程±10，非线性±0.3，带宽1800Hz，噪声8Hz，零偏稳定性140μg。
高精度惯性传感器（如战术级/导航级IMU）的性能指标远高于普通商用传感器，其核心参数直接影响系统定位、姿态控制的准确性。亿波达公司研发总监张裕华透露，除了单轴加速度计外，公司也在积极研发战术级的MEMS陀螺仪。
亿波达公司的愿景是成为全球MEMS技术的引领者，目前公司整体人员50多人，硕士、博士占比45%以上。公司首席顾问在MEMS行业已经有二十多年建厂经验，公司不断推出专利，形成自有的知识产权，公司已有发明专利16项，实用新型专利1项，软件著作权2项，正在申请的发明专利3项。
